{"id":78158,"date":"2017-06-10T06:30:07","date_gmt":"2017-06-09T22:30:07","guid":{"rendered":"\/\/m.iemloyee.com\/?p=78158"},"modified":"2017-06-08T14:50:39","modified_gmt":"2017-06-08T06:50:39","slug":"%e5%ad%a6%e6%9c%af%e5%b9%b2%e8%b4%a7%e4%b8%a8%e6%89%ab%e6%8f%8f%e7%94%b5%e9%95%9c%e5%86%b7%e5%86%bb%e5%88%b6%e6%a0%b7%e5%8f%8a%e4%bc%a0%e8%be%93%e7%b3%bb%e7%bb%9fcryo-sem%e7%9a%84%e5%ba%94%e7%94%a8","status":"publish","type":"post","link":"\/\/m.iemloyee.com\/?p=78158","title":{"rendered":"\u5b66\u672f\u5e72\u8d27\u4e28\u626b\u63cf\u7535\u955c\u51b7\u51bb\u5236\u6837\u53ca\u4f20\u8f93\u7cfb\u7edf(Cryo-SEM)\u7684\u5e94\u7528"},"content":{"rendered":"
\u5e38\u89c4\u626b\u63cf\u7535\u955c\u7684\u6837\u54c1\u5ba4\u4e3a\u9ad8\u771f\u7a7a(10-3<\/sup>Pa)\u73af\u5883\uff0c\u8981\u6c42\u89c2\u5bdf\u7684\u6837\u54c1\u5e72\u71e5\u65e0\u6325\u53d1\uff0c\u800c\u4e00\u4e9b\u6837\u54c1\u5728\u5e72\u71e5\u8fc7\u7a0b\u4e2d\u4f1a\u53d1\u751f\u7ed3\u6784\u53d8\u5316(\u5982\u56ca\u6ce1\u7b49\u81ea\u7ec4\u88c5\u7ed3\u6784\u3001\u51dd\u80f6\u3001\u751f\u7269\u6837\u54c1\u7b49)\uff0c\u81f4\u4f7f\u65e0\u6cd5\u89c2\u5bdf\u5176\u771f\u5b9e\u7ed3\u6784\uff0c\u626b\u63cf\u7535\u955c\u7684\u4f4e\u6e29\u51b7\u51bb\u5236\u6837\u53ca\u4f20\u8f93\u6280\u672f(Cryo-SEM)\u53ef\u5b9e\u73b0\u5bf9\u6db2\u4f53\u3001\u534a\u6db2\u4f53\u53ca\u5bf9\u7535\u5b50\u675f\u654f\u611f\u6837\u54c1\u7684\u89c2\u5bdf\u3002<\/p>\n 1. \u626b\u63cf\u7535\u955c\u51b7\u51bb\u5236\u6837\u53ca\u4f20\u8f93\u7cfb\u7edf\u7b80\u4ecb<\/span><\/p>\n \u51b7\u51bb\u626b\u63cf\u7535\u955c\u7684\u5236\u6837\u8fc7\u7a0b\u5206\u4e3a\u51b7\u51bb\u56fa\u5b9a\u3001\u51b7\u51bb\u65ad\u88c2\u3001\u5347\u534e\u53ca\u5bfc\u7535\u6027\u55b7\u6d82\uff0c\u9996\u5148\u662f\u5c06\u6837\u54c1\u8fdb\u884c\u51b7\u51bb\u56fa\u5b9a\uff0c\u51b7\u51bb\u56fa\u5b9a\u8fc7\u7a0b\u5c3d\u91cf\u4fdd\u6301\u6837\u54c1\u7684\u7ed3\u6784\uff0c\u4f7f\u6c34\u5728\u56fa\u5316\u7684\u8fc7\u7a0b\u4e2d\u4e0d\u7ed3\u6676\u800c\u6210\u4e3a\u73bb\u7483\u6001\u7684\u6c34\uff0c\u8fd9\u6837\u6c34\u7684\u4f53\u79ef\u4e0d\u4f1a\u81a8\u80c0\u4ece\u800c\u4e0d\u4f1a\u7834\u574f\u6837\u54c1\u7684\u539f\u59cb\u7ed3\u6784\uff0c\u901a\u5e38\u91c7\u7528\u9ad8\u538b\u51b7\u51bb\u7684\u65b9\u6cd5\u548c\u6db2\u6c2e\u6ce5\u5feb\u901f\u51b7\u51bb\u65b9\u6cd5\u3002\u9ad8\u538b\u51b7\u51bb\u65b9\u6cd5\u662f\u57282100\u4e2a\u5927\u6c14\u538b\u7684\u538b\u529b\u4e0b\u7528\u6db2\u6c2e\u5c06\u6837\u54c1\u51b7\u51bb\uff0c\u5728\u6b64\u6761\u4ef6\u4e0b\u6c34\u5448\u73bb\u7483\u6001\u3002\u6db2\u6c2e\u6ce5\u662f\u5c06\u6db2\u6c2e\u7f6e\u4e8e\u771f\u7a7a\u73af\u5883(\u7ea6 0.1Pa)\uff0c\u6b64\u65f6\u6db2\u6c2e\u4e3a\u201c\u6ce5\u201d\u72b6\uff0c\u4e0d\u6cb8\u817e\uff0c\u53ef\u5feb\u901f\u51b7\u51bb\u6837\u54c1\uff0c\u51cf\u5c11\u6837\u54c1\u4e2d\u6c34\u7ed3\u6676\u7684\u53ef\u80fd\u3002\u51b7\u51bb\u56fa\u5b9a\u540e\u7684\u6db2\u6001\u6837\u54c1\uff0c\u7ecf\u7279\u6b8a\u7684\u88c5\u7f6e\u5728\u771f\u7a7a\u4e14\u4f4e\u6e29(-100\u2103)\u7684\u73af\u5883\u4e0b\u5c06\u6837\u54c1\u65ad\u88c2\uff0c\u9732\u51fa\u65b0\u9c9c\u7684\u65ad\u9762\uff0c \u7136\u540e\u5728\u771f\u7a7a\u4e14\u6e29\u5ea6\u4e3a-90\u2103\u7684\u6761\u4ef6\u4e0b\uff0c\u6c34\u8fdb\u884c\u5347\u534e\uff0c\u5c06\u5305\u88f9\u6837\u54c1\u7684\u6c34\u5347\u534e\u540e\uff0c\u8fdb\u884c\u5bfc\u7535\u6027\u55b7\u6d82(\u4e00\u822c\u55b7 Pt)\u3002\u81f3\u6b64\uff0c\u51b7\u51bb\u5236\u6837\u5de5\u4f5c\u5b8c\u6210\uff0c\u5373\u53ef\u5c06\u6837\u54c1\u901a\u8fc7\u51b7\u51bb\u4f20\u8f93\u7cfb\u7edf\u7f6e\u4e8e\u626b\u63cf\u7535\u955c\u7684\u51b7\u53f0\u4e0a\uff08\u6e29\u5ea6\u53ef\u4f4e\u81f3-160\u2103\uff09 \u8fdb\u884c\u89c2\u5bdf\u3002<\/p>\n \u56fe1\u662f\u5206\u6790\u6d4b\u8bd5\u4e2d\u5fc3\u7535\u955c\u5ba4\u914d\u7f6e\u7684\u626b\u63cf\u7535\u955c\u51b7\u51bb\u5236\u6837\u53ca\u626b\u63cf\u7535\u955c\u7684\u51b7\u53f0(\u914d\u7f6e\u4e8e\u626b\u63cf\u7535\u955c S-4300)\uff0c\u5305\u62ec\u9ad8\u538b\u51b7\u51bb\u4eea(\u53ca\u6211\u4eec\u81ea\u884c\u7814\u5236\u7684\u6db2\u6c2e\u6ce5\u51b7\u51bb\u88c5\u7f6e)\u3001\u51b7\u51bb\u65ad\u88c2\u53ca\u55b7\u6d82\u4eea\u3001\u771f\u7a7a\u51b7\u51bb\u4f20\u8f93\u88c5\u7f6e\u53ca\u626b\u63cf\u7535\u955c\u4e2d\u7684\u51b7\u53f0\u3002<\/p>\n \u9ad8\u538b\u51b7\u51bb \u21d2\u51b7\u51bb\u65ad\u88c2\/<\/b>\u55b7\u6d82 \u21d2\u771f\u7a7a\u51b7\u51bb\u4f20\u8f93 \u21d2Cryo-SEM<\/b><\/p>\n 2.\u51b7\u51bb\u626b\u63cf\u7535\u955c(cryo-SEM)\u7684\u5e94\u7528\u5b9e\u4f8b<\/span><\/p>\n \u56fe2\u4e3a\u9175\u6bcd\u7ec6\u80de(\u7531\u9175\u6bcd\u7c89\u52a0\u6c34\u53d1\u9175\u5236\u5f97)\u5206\u522b\u7ecf\u9ad8\u538b\u51b7\u51bb\u548c\u76f4\u63a5\u6db2\u6c2e\u51b7\u51bb\u5236\u6837\uff0c\u7136\u540e\u51b7\u51bb\u65ad\u88c2\u5e76\u8fdb\u884c\u5bfc\u7535\u6027\u55b7\u6d82\u540e\u7f6e\u4e8e\u626b\u63cf\u7535\u955c\u4e2d\u89c2\u5bdf\u5230\u7684\u7ed3\u6784\uff0c\u53ef\u4ee5\u770b\u51fa\u4e24\u79cd\u5236\u6837\u65b9\u6cd5\u90fd\u53ef\u89c2\u5bdf\u5230\u4e0d\u540c\u622a\u9762\u65ad\u88c2\u7684\u9175\u6bcd\u7ec6\u80de\uff0c\u9ad8\u538b\u51b7\u51bb\u7684\u5236\u6837\u65b9\u6cd5\u8f83\u5b8c\u6574\u7684\u4fdd\u6301\u4e86\u9175\u6bcd\u7ec6\u80de\u7684\u7ed3\u6784\uff0c\u800c\u76f4\u63a5\u6295\u5165\u6db2\u6c2e\u51b7\u51bb\u7684\u65b9\u6cd5\u4f7f\u5f97\u9175\u6bcd\u7ec6\u80de\u7684\u7ed3\u6784\u53d7\u6324\u538b\u53d1\u751f\u53d8\u5f62\u3002<\/p>\n \u56fe 3 \u4e3a\u8868\u9762\u6d3b\u6027\u5242\u5f62\u6210\u7684\u56ca\u6ce1\u6837\u54c1(\u80f6\u4f53\u754c\u9762\u4e0e\u70ed\u529b\u5b66\u5b9e\u9a8c\u5ba4\u6837\u54c1)\u901a\u8fc7\u9ad8\u538b\u51b7\u51bb\u5236\u6837\uff0c\u7ecf\u51b7\u51bb\u65ad\u88c2\u5e76\u5bfc\u7535\u6027\u55b7\u6d82\u540e\uff0c\u7f6e\u4e8e\u51b7\u51bb\u626b\u63cf\u7535\u955c\u4e2d\u89c2\u5bdf\u5f97\u5230\u7684\u8868\u9762\u5f62\u8c8c\uff0c\u53ef\u4ee5\u770b\u51fa\u7ecf\u51b7\u51bb\u65ad\u88c2\uff0c\u6709\u4e9b\u56ca\u6ce1\u4fdd\u6301\u4e86\u5b8c\u6574\u7684\u7403\u578b\u7ed3\u6784\uff0c\u6709\u4e9b\u5219\u4ece\u4e2d\u95f4\u65ad\u88c2\uff0c\u4ece\u800c\u53ef\u4ee5\u770b\u5230\u7a7a\u56ca\u7684\u7ed3\u6784\u3002\u82e5\u4ee5\u5e38\u6e29\u7684\u626b\u63cf\u7535\u955c\u89c2\u5bdf\uff0c\u6837\u54c1\u9700\u8981\u5148\u5e72\u71e5\uff0c\u800c\u5728\u5e72\u71e5\u8fc7\u7a0b\u4e2d\u56ca\u6ce1\u4f1a\u584c\u9677\uff0c\u65e0\u6cd5\u4fdd\u6301\u5176\u7ed3\u6784\u3002<\/p>\n \u56fe 4 \u4e3a\u9ad8\u5206\u5b50\/SiO2 \u590d\u5408\u5fae\u7403\u6837\u54c1(\u9ad8\u5206\u5b50\u7269\u7406\u4e0e\u5316\u5b66\u5b9e\u9a8c\u5ba4\u6837\u54c1)\u7ecf\u9ad8\u538b\u51b7\u51bb\u5236\u6837\uff0c\u51b7\u51bb\u65ad\u88c2\u5e76\u5bfc\u7535\u6027\u55b7\u6d82\u540e\uff0c \u7f6e\u4e8e\u51b7\u51bb\u626b\u63cf\u7535\u955c\u4e2d\u89c2\u5bdf\u5f97\u5230\u7684\u8868\u9762\u5f62\u8c8c\uff0c \u53ef\u4ee5\u770b\u51fa\u6b64\u5fae\u7403\u662f\u7531\u4e00\u4e2a SiO2\u7403 (\u76f4\u5f84\u7ea6 200nm)\u548c\u4e00\u4e2a\u9ad8\u5206\u5b50\u7403(\u76f4\u5f84\u7ea6 400nm)\u7ec4\u6210\uff0c \u7531\u88c2\u5f00\u7684\u7403\u770b\u51fa\u9ad8\u5206\u5b50\u7403\u4e3a\u7a7a\u5fc3\u7ed3\u6784\uff0c SiO2 \u7403\u5185\u5d4c\u5728\u5176\u4e2d\uff0c \u6574\u4e2a\u5fae\u7403\u8868\u9762\u662f\u6bd4\u8f83\u5149\u6ed1\u7684\uff0c\u5728\u6eb6\u6db2\u4e2d\u8fd8\u6563\u843d\u4e9b\u5c0f\u9897\u7c92\u7684\u7269\u8d28\uff0c\u8fd9\u4e9b\u6563\u843d\u7684\u9897\u7c92\u7269\u8d28\u5e76\u6ca1\u6709\u5305\u8986\u5728\u7403\u4e0a\uff0c \u8fd9\u8bc1\u660e\u5728\u6eb6\u6db2\u4e2d\u5fae\u7403\u7684\u8868\u9762\u5e76\u6ca1\u6709\u5c0f\u9897\u7c92\u7269\u8d28\u5438\u9644\u3002\u800c\u82e5\u5e94\u7528\u5e38\u6e29\u626b\u63cf\u7535\u955c\u89c2\u5bdf\uff0c\u5728\u6837\u54c1\u5e72\u71e5\u7684\u8fc7\u7a0b\u4e2d\uff0c\u5c0f\u9897\u7c92\u4f1a\u6c89\u79ef\u5728\u6837\u54c1\u8868\u9762\uff0c\u65e0\u6cd5\u5224\u65ad\u5c0f\u9897\u7c92\u5728\u6eb6\u6db2\u4e2d\u662f\u5426\u5438\u9644\u5728\u5fae\u7403\u8868\u9762\u3002<\/p>\n
<\/a><\/p>\n
<\/a><\/p>\n
<\/a><\/p>\n
<\/a><\/p>\n