{"id":69796,"date":"2017-03-13T06:30:15","date_gmt":"2017-03-12T22:30:15","guid":{"rendered":"\/\/m.iemloyee.com\/?p=69796"},"modified":"2017-03-07T10:21:27","modified_gmt":"2017-03-07T02:21:27","slug":"umedjon-khalilov%e6%95%99%e6%8e%88acc-chem-res-%e6%9c%80%e6%96%b0%e7%bb%bc%e8%bf%b0%ef%bc%9a%e9%80%9a%e8%bf%87%e5%8e%9f%e5%ad%90%e5%b0%ba%e5%ba%a6%e6%a8%a1%e6%8b%9f%e7%90%86%e8%a7%a3%e9%80%89","status":"publish","type":"post","link":"\/\/m.iemloyee.com\/?p=69796","title":{"rendered":"Umedjon Khalilov\u6559\u6388Acc. Chem. Res.\u6700\u65b0\u7efc\u8ff0\uff1a\u901a\u8fc7\u539f\u5b50\u5c3a\u5ea6\u6a21\u62df\u7406\u89e3\u9009\u62e9\u6027\u7845\u7eb3\u7c73\u6c27\u5316"},"content":{"rendered":"
\u3010\u5f15\u8a00\u3011<\/strong><\/p>\n \u7eb3\u7c73\u88c5\u7f6e\uff08\u4f8b\u5982\u6676\u4f53\u7ba1\u3001\u592a\u9633\u80fd\u7535\u6c60\u3001\u5149\u7ea4\uff09\u9700\u8981\u5728\u539f\u5b50\u5c3a\u5ea6\u7cbe\u51c6\u7684\u5bf9\u5305\u62ec\u4e8c\u6c27\u5316\u7845\u5728\u5185\u7684\u8584\u6805\u6c27\u5316\u5c42\uff08\u5c0f\u4e8e10nm\uff09\u53ef\u63a7\u5408\u6210\u3002\u4e8c\u6c27\u5316\u7845\u4f20\u7edf\u7684\u70ed\u751f\u957f\u662f\u5728\u7845\u7684\u5149\u6ed1\u8868\u9762\u4e0a\uff0c\u4f46\u662f\u4e00\u65b9\u9762\u7531\u4e8e\u9ad8\u6e29\u4e0b\u6c27\u6c14\u6269\u6563\u7684\u901f\u5ea6\u5feb\uff0c\u53e6\u4e00\u65b9\u9762\u7531\u4e8e\u4f4e\u6e29\u4e0b\u6c27\u6c14\u7684\u9644\u7740\u80fd\u529b\u5dee\u5bfc\u81f4\u4e00\u822c\u4e0d\u4f1a\u5f97\u5230\u4e0a\u8ff0\u8584\u5ea6\u7684\u6c27\u5316\u7269\u3002\u8fd1\u671f\u4e24\u79cd\u6280\u672f\u7684\u63d0\u51fa\u514b\u670d\u4e86\u8fd9\u4e9b\u969c\u788d\u3002\u4e00\u4e2a\u662f\u5c06\u5e73\u6ed1\u7684\u7845\u8868\u9762\u9ad8\u6e29\u6c27\u5316\uff0c\u53e6\u4e00\u4e2a\u662f\u5bf9\u975e\u5e73\u6ed1\u7684\u7845\u8868\u9762\u70ed\u8f85\u52a9\u6216\u8005\u7b49\u79bb\u5b50\u8f85\u52a9\u6c27\u5316\uff08\u5305\u62ec\u7845\u7eb3\u7c73\u7ebf\uff09\u3002\u4f46\u662f\u8fd9\u4e9b\u7eb3\u7c73\u6c27\u5316\u7684\u8fc7\u7a0b\u662f\u5f88\u96be\u6df1\u5165\u7814\u7a76\u7684\uff0c\u56e0\u4e3a\u4e2d\u95f4\u7684\u5173\u952e\u8fc7\u7a0b\u5728\u5341\u4ebf\u5206\u4e4b\u4e00\u79d2\u7684\u8303\u7574\u3002<\/p>\n \u8fd1\u65e5\uff0c\u6765\u81ea\u6bd4\u5229\u65f6\u5b89\u7279\u536b\u666e\u5927\u5b66\u7684Umedjon Khalilov\u6559\u6388\uff08\u901a\u8baf\u4f5c\u8005\uff09<\/strong>\u7b49\u4eba\u4ece\u8ba1\u7b97\u70b9\u7684\u89d2\u5ea6\u8ba8\u8bba\u4e86\u4e0a\u8ff0\u7845\u7eb3\u7c73\u6c27\u5316\u6280\u672f\u5e76\u4e14\u5bf9\u9ad8\u6e29\u548c\u70ed\u6c27\u5316\u505a\u4e86\u76f8\u5173\u6bd4\u8f83\uff0c\u540c\u65f6\u5bf9\u4e8e\u4e00\u4e9b\u5df2\u7ecf\u719f\u77e5\u7684\u70ed\u6c27\u5316\u6a21\u578b\uff08\u4f8b\u5982\u8fea\u5c14-\u683c\u7f57\u592b\u6a21\u578b\u3001\u5361\u5e03\u96f7\u62c9-\u83ab\u7279\u6a21\u578b\u3001\u5361\u5965\u6a21\u578b\uff09\u7b49\u505a\u4e86\u8bba\u8ff0\u3002\u4e0a\u8ff0\u7684\u5185\u5bb9\u4ee5\u9898\u4e3a\u201cToward the Understanding of Selective Si Nano-Oxidation by Atomic Scale Simulations\u201d<\/strong>\u53d1\u8868\u5728\u4e862017\u5e743\u67081\u65e5\u7684Accounts of Chemical Research<\/strong>\u4e0a\u3002<\/p>\n <\/p>\n \u7efc\u8ff0\u603b\u89c8\u56fe<\/strong><\/p>\n 1 \u7b80\u4ecb<\/strong><\/p>\n \u5728\u672c\u6587\u4e2d\uff0c\u7814\u7a76\u4eba\u5458\u4f7f\u7528\u4e86\u6d3b\u6027\u5206\u5b50\u52a8\u529b\u5b66\uff08MD\uff09\u548c\u590d\u5408MD\uff08\u8499\u7279\u5361\u6d1b\uff09\u6a21\u62df\u6280\u672f\u3002 \u4e3a\u4e86\u9632\u6b62\u80fd\u91cf\u6240\u5f15\u8d77\u7684\u635f\u574f\uff0c\u4f7f\u7528\u9ad8\u6e29\u6c27\u5316\u5e73\u6ed1\u7845\u8868\u9762\u65f6\u6d3b\u6027\u6c27\u7684\u5165\u5c04\u80fd\u9009\u62e9\u57281\u20145eV\uff08\u7535\u5b50\u4f0f\u7279\uff09\u7684\u8303\u56f4\u5185\u3002\u7ed3\u679c\u663e\u793a\u9ad8\u6e29\u751f\u957f\u5141\u8bb8\u4e24\u79cd\u751f\u957f\u6a21\u5f0f\uff0c\u4e00\u79cd\u662f\u4ec5\u4ec5\u4f7f\u5165\u5c04\u6c27\u7684\u52a8\u80fd\u5904\u4e8e\u6e29\u5ea6\u4e3a600K\u7684\u8f6c\u53d8\u6e29\u5ea6\uff1b\u53e6\u4e00\u79cd\u65b9\u5f0f\u662f\u4f7f\u5165\u5c04\u80fd\u548c\u751f\u957f\u6e29\u5ea6\u90fd\u9ad8\u4e8e\u8f6c\u53d8\u6e29\u5ea6\u3002\u8fd9\u4e9b\u6a21\u578b\u5bf9\u4e8e\u8d85\u8584\u7684\u6c27\u5316\u7269\u90fd\u662f\u7279\u6b8a\u7684\uff0c\u4e0d\u9002\u4e8e\u4f20\u7edf\u7684\u70ed\u6c27\u5316\u8fc7\u7a0b\u7684\u7814\u7a76\uff0c\u540c\u6837\u7406\u8bba\u4e0a\u4e5f\u4e0d\u9002\u7528\u4e8e\u73b0\u5b58\u7684\u4e00\u4e9b\u6a21\u578b\u3002\u53e6\u4e00\u65b9\u9762\uff0c\u5728\u7845\u7eb3\u7c73\u7ebf\uff08SiNW)\u7684\u70ed\u6c27\u5316\u548c\u7b49\u79bb\u5b50\u8f85\u52a9\u6c27\u5316\u4e2d\uff0c\u8d85\u8584\u6c27\u5316\u7269\u7684\u539a\u5ea6\u662f\u751f\u957f\u6e29\u5ea6\u548c\u7eb3\u7c73\u7ebf\u76f4\u5f84\u786e\u5b9a\u7684\u51fd\u6570\u3002\u5728\u8f6c\u53d8\u6e29\u5ea6\u4ee5\u4e0b\uff0c\u7eb3\u7c73\u7ebf\u7684\u76f4\u5f84\u53d1\u751f\u53d8\u5316\uff0c\u90e8\u5206\u6c27\u5316\u7684SiNW\u5f62\u6210\uff0c\u4f46\u662f\u4e8c\u6c27\u5316\u7845\u7eb3\u7c73\u7ebf\u7684\u5b8c\u5168\u6c27\u5316\u53ea\u53d1\u751f\u5728\u8f6c\u53d8\u6e29\u5ea6\u4ee5\u4e0a\u3002\u5728\u4e0a\u8ff0\u4e24\u79cd\u7eb3\u7c73\u6c27\u5316\u8fc7\u7a0b\u4e2d\uff0c\u4f4e\u4e8e\u8f6c\u53d8\u6e29\u5ea6\u6700\u7ec8\u7684\u4ea7\u7269\u662fc-Si|SiOx<\/sub>|a-SiO2<\/sub>,\u5f97\u5230\u8fd9\u79cd\u4ea7\u7269\u4e3b\u8981\u662f\u7531\u4e8e\u4e00\u65b9\u9762\u9700\u8981\u514b\u670d\u80fd\u969c\u6e17\u900f\u8fdb\u5165\u7845\u8868\u9762\uff0c\u53e6\u4e00\u65b9\u9762\u9700\u8981\u514b\u670d\u7845\u6676\u4f53\u6216\u6c27\u5316\u7269\u754c\u9762\u7ea62-3GPa\u7684\u538b\u7d27\u529b\u3002<\/p>\n 2 \u5e73\u6ed1\u7845\u8868\u9762\u7684\u9ad8\u6e29\u6c27\u5316<\/strong><\/p>\n \u9ad8\u6e29\u8f6c\u53d8\u7684\u80fd\u91cf\u8303\u56f4\u57281-500eV\u4e4b\u95f4\u53ef\u4ee5\u89e6\u52a8\u76f8\u90bb\u8868\u9762\u533a\u57df\u7684\u53d1\u751f\u5316\u5b66\u53cd\u5e94\uff0c\u5305\u62ec\u9ad8\u6e29\u6c27\u5316\uff08HTO\uff09\u8fc7\u7a0b\u3002\u672c\u6587\u4e2d\u7814\u7a76\u6c27\u5316\u7684\u8fc7\u7a0b\u5e94\u7528\u4e86\u53cd\u5e94\u5206\u5b50\u52a8\u529b\u5b66\u6a21\u62df\uff0c\u8fd9\u79cd\u6a21\u62df\u8fc7\u7a0b\u4f7f\u9ad8\u6e29\u7269\u8d28\u8fdb\u5165\u66f4\u6df1\u7684\u6676\u4f53\u7ed3\u6784\u4e2d\uff0c\u8fd9\u662f\u5b83\u4eec\u7684\u9ad8\u6e29\u80fd\u91cf\u514b\u670d\u76f8\u5173\u80fd\u969c\u6700\u76f4\u63a5\u7684\u7ed3\u679c\uff0c\u5373\u4f7f\u5728\u4f4e\u6e29\u8fd9\u79cd\u60c5\u51b5\u4e5f\u4f1a\u53d1\u751f\u3002\u5b9e\u9a8c\u53d1\u73b0\uff0c\u5ba4\u6e29\u4e0b\u7684\u6c27\u6c14\u6269\u6563\u662f\u4e00\u4e2a\u5f88\u7f13\u6162\u7684\u8fc7\u7a0b\uff0c\u6240\u4ee5\u5728\u6a21\u62df\u4e2d\u6ca1\u6709\u5c06\u5176\u8003\u8651\u8fdb\u53bb\u3002\u6e17\u900f\u6df1\u5ea6\u7684\u6700\u5927\u503c\u5206\u5b50\u6c27\u8981\u6bd4\u539f\u5b50\u6c27\u7684\u5c0f\uff0c\u8fd9\u662f\u7531\u4e8e\u6c27\u5206\u5b50\u4f1a\u5728\u78b0\u649e\u4e2d\u4f1a\u7acb\u5373\u89e3\u4f53\u3002\u800c\u5206\u5b50\u548c\u539f\u5b50\u5177\u6709\u76f8\u540c\u7684\u52a8\u80fd\uff0c\u5728\u5206\u5b50\u89e3\u4f53\u83b7\u5f97\u5355\u4e2a\u539f\u5b50\u540e\u6e17\u900f\u7684\u8d8b\u52bf\u653e\u7f13\uff0c\u6240\u4ee5\u6269\u6563\u7684\u901f\u7387\u53d8\u4f4e\u3002<\/p>\n HTO\u8fc7\u7a0b\u53ef\u4ee5\u5206\u56db\u4e2a\u9636\u6bb5\uff0c\u6bcf\u4e2a\u9636\u6bb5\u90fd\u6709\u4f4e\u6e29\uff08300K\uff09\u548c\u4f4e\u6e29\uff081300K\uff09\u4e24\u4e2a\u6e29\u5ea6\u3002\u5728\u7b2c\u4e00\u9636\u6bb5\uff0c\u6c27\u6c14\u6700\u521d\u7684\u5e73\u52a8\u52a8\u80fd\uff081-5eV\uff09\u53ef\u4ee5\u7a81\u7834\u80fd\u969c\u8fdb\u5165Si\u8868\u9762\u4e0b\u7684\u7b2c\u4e00\u5c42\u548c\u7b2c\u4e8c\u5c42\uff0c\u5728\u8fd9\u4e24\u5c42\u5206\u522b\u9700\u8981\u6d88\u80171.0\u548c2.4eV\uff0c\u8fd9\u662f\u5f88\u5bb9\u6613\u5b9e\u73b0\u7684\u3002\u56e0\u4e3a\u5373\u4fbf\u5728\u63a5\u8fd1\u5ba4\u6e29\u65f6\uff0c\u6c27\u5316\u5242\u4e5f\u53ef\u4ee5\u8f7b\u677e\u5730\u76f4\u63a5\u8fdb\u5165Si\u7684\u8868\u9762\u4e0b\u3002\u5728\u8fd9\u4e2a\u9636\u6bb5SiOx<\/sub>\u5c42\u6574\u9f50\u7684\u5411\u5185\u548c\u5411\u5916\u751f\u957f\u3002<\/p>\n \u5728\u7b2c\u4e8c\u9636\u6bb5\uff0c\u6c27\u5316\u5c42\u5411\u5185\u751f\u957f\u7387\u663e\u8457\u964d\u4f4e\uff0c\u8fd9\u662f\u7531\u4e8eSi\u8868\u9762\u4e0b\u7684\u80fd\u969c\u6d3b\u8dc3\u4ee5\u53ca\u6e17\u900f\u8fdb\u5165\u6676\u4f53\u7684\u6c27\u539f\u5b50\u5728\u4f4e\u6e29\u7684\u6269\u6563\u901f\u5ea6\u8f83\u6162\u3002\u7ed3\u679c\u4e00\u4ef7\u3001\u4e8c\u4ef7\u3001\u4e09\u4ef7\u3001\u56db\u4ef7\u7845\u79bb\u5b50\u5feb\u901f\u7684\u8f6c\u6362\u4fc3\u8fdb\u4e86\u65b0\u4e8c\u6c27\u5316\u7845\u5c42\u7684\u5f62\u6210\uff0c\u5e76\u4e14 SiOx<\/sub>\u7684\u539a\u5ea6\u660e\u663e\u5730\u964d\u4f4e\uff0c\u63a5\u4e0b\u6765\u5411\u5185\u751f\u957f\u7684\u901f\u5ea6\u4e0b\u964d\u3002\u5728\u7b2c\u4e09\u9636\u6bb5\u548c\u7b2c\u56db\u9636\u6bb5 SiOx<\/sub>\u7684\u53d8\u5316\u8d8b\u52bf\u548c\u7b2c\u4e8c\u9636\u6bb5\u76f8\u540c\uff0c\u6240\u4ee5\u4e0d\u518d\u7d2f\u8ff0\u3002<\/p>\n \u9664\u4e86\u751f\u957f\u6e29\u5ea6\u548c\u5165\u5c04\u52a8\u80fd\u7684\u5f71\u54cd\u5916\uff0c\u6c27\u5316\u7269\u7684\u539a\u5ea6\u4e5f\u662f\u5f71\u54cd\u6c27\u6c14\u79cd\u7c7b\u7684\u56e0\u7d20\uff0c\u7531\u4e8e\u5728\u5206\u89e3\u540e\u7684\u52bf\u5934\u4f4e\uff0c\u5206\u5b50\u7684\u9644\u7740\u6982\u7387\u901a\u5e38\u8981\u6bd4\u539f\u5b50\u7684\u9644\u7740\u6982\u7387\u5c0f\uff0c\u6240\u4ee5\u5206\u5b50\u6c27\u4e0d\u53ef\u4ee5\u50cf\u539f\u5b50\u6c27\u4e00\u6837\u8fdb\u5165\u66f4\u6df1\u7684\u8868\u9762\u3002\u8003\u8651\u5230\u539a\u5ea6\u662f\u53ef\u63a7\u7684\uff0c\u56e0\u6b64\u5bf9\u83b7\u5f97\u7684\u6c27\u5316\u7269\u8fdb\u884c\u7ed3\u6784\u5206\u6790\u4e5f\u5f88\u91cd\u8981\u3002\u4e8c\u6c27\u5316\u7845\u6676\u4f53\u4e2d\uff0c\u7845\u539f\u5b50\u76844\u4e2a\u4ef7\u7535\u5b50\u4e0e4\u4e2a\u6c27\u539f\u5b50\u5f62\u62104\u4e2a\u5171\u4ef7\u952e\uff0c\u7845\u539f\u5b50\u4f4d\u4e8e\u6b63\u56db\u9762\u4f53\u7684\u4e2d\u5fc3\uff0c4\u4e2a\u6c27\u539f\u5b50\u4f4d\u4e8e\u6b63\u56db\u9762\u4f53\u76844\u4e2a\u9876\u89d2\u4e0a\u3002\u901a\u8fc7\u8ba1\u7b97\u5f97\u5230\u7684\u4e8c\u6c27\u5316\u7845\u7684\u5bc6\u5ea6\u4e0e\u65e0\u5b9a\u5f62\u4e8c\u6c27\u5316\u7845\u975e\u5e38\u63a5\u8fd1\u3002<\/p>\n \u56fe1 \u5728300K\u548c1300K\u6e29\u5ea6\u4e0b\u9ad8\u6e29\u6c27\u5316\u8fc7\u7a0b\u7684\u6c27\u5316\u7269\u751f\u957f\u673a\u5236<\/strong><\/p>\n \u56fe2 \u6c27\u5316\u7845\u5728\u7845\u6676\u4f53\u7684\u751f\u957f\u66f2\u7ebf\u548c\u6e17\u900f\u6c27\u5411\u5185\u6269\u6563\u7684\u6df1\u5ea6\u56fe\u89e3<\/strong><\/p>\n \u56fe3 1-5eV\u80fd\u91cf\u4e0b\u4e8c\u6c27\u5316\u7845\u7684\u9ad8\u6e29\u6c27\u5316\u8fc7\u7a0b<\/strong><\/p>\n 3 \u5c0f\u5c3a\u5ea6\u7845\u7eb3\u7c73\u7ebf\u7684\u70ed\u6c27\u5316\u548c\u7b49\u79bb\u5b50\u6c27\u5316<\/strong><\/p>\n \u901a\u8fc7\u8ba1\u7b97\u53ef\u4ee5\u9884\u6d4b\u901a\u8fc7\u7845\u7eb3\u7c73\u7ebf\u7684\u70ed\u6c27\u5316\u548c\u7b49\u79bb\u5b50\u6c27\u5316\u6210\u5f62\u6210\u8d85\u8584a-SiO2<\/sub>\u53ef\u80fd\u7684\u7ed3\u6784\u3002\u5c3d\u7ba1\u56fa\u4f53\uff08\u91d1\u5c5e\uff09\u8868\u9762\u7684\u7b49\u79bb\u5b50\u4f53\u5bfc\u81f4\u5f62\u6210\u4e0d\u540c\u7684\u7eb3\u7c73\u7ed3\u6784\uff0c\u4f46\u672c\u6587\u4e3b\u8981\u4fa7\u91cd\u4e8e\u5c42\u72b6SiO2<\/sub>\u7684\u7814\u7a76\u3002\u7ed3\u679c\u663e\u793a\uff0c2nm\u76f4\u5f84\u7684\u7845\u7eb3\u7c73\u7ebf\u7684\u6c27\u5316\u8fc7\u7a0b\u6bcf\u9694\u4e00\u6bb5\u65f6\u95f4\u5c31\u6709\u4e00\u4e2a\u65b0\u7684\u5206\u5b50\u5c31\u53d8\u6210\u6c14\u76f8\u3002\u5728\u7845\u7eb3\u7c73\u7ebf\u7684\u70ed\u6c27\u5316\u548c\u7b49\u79bb\u5b50\u6c27\u5316\u4e2d\u5206\u522b\u4f7f\u7528\u4e86\u6d3b\u6027\u5206\u5b50\u52a8\u529b\u5b66\uff08MD\uff09\u548c\u590d\u5408MD\uff08\u8499\u7279\u5361\u6d1b\uff09\u6a21\u62df\u6280\u672f\u6765\u5b8c\u6210\uff0c\u8ba1\u7b97\u7ed3\u679c\u663e\u793a1\u4e2a\u5355\u5c42\uff08ML\uff09\u7b49\u540c\u4e8e56\u4e2a\u6c27\u539f\u5b50\u3002<\/p>\n \u5728\u4f4e\u6e29\u4e0b\u867d\u7136\u53ef\u4ee5\u83b7\u5f97c-Si|SiOx<\/sub>|a-SiO2<\/sub>\u7ed3\u6784\uff0c\u4f46\u662f\u5728\u9ad8\u6e29\u4e0b\u4e00\u4e2a c-Si \u4f1a\u8f6c\u6362\u6210\u4e00\u4e2a a-SiO2<\/sub>\uff0c\u8fd9\u4e2a\u8f6c\u6362\u9700\u8981\u4f9d\u9760\u7eb3\u7c73\u7cfb\u7edf\u7684\u7269\u7406\u7cfb\u76f8\uff0c\u8fd9\u6b63\u662f\u5409\u5e03\u65af-\u6c64\u59c6\u68ee\u6548\u5e94\u3002\u8fd9\u79cd\u6c27\u5316\u7845\u7eb3\u7c73\u7ebf\u7ed3\u6784\u7531\u4e8e\u6c27\u5316\u8fc7\u7a0b\u7684\u81ea\u6211\u9650\u5236\uff0c\u53ef\u4ee5\u5728\u7406\u8bba\u4e0a\u7528\u5361\u5965\u6a21\u578b\u89e3\u91ca\uff0c\u5361\u5965\u6a21\u578b\u662f\u5bf9\u4e8e\u975e\u5e73\u9762\u7845\u8868\u9762\u7684\u6e7f\u5f0f\u6c27\u5316\u8fea\u5c14-\u683c\u7f57\u592b\u6a21\u578b\u7684\u6269\u5c55\u3002\u4f46\u662f\uff0c\u5f00\u59cb\u7684\u6c27\u5316\u9636\u6bb5\u5728\u5e72\u5f0f\u6c27\u5316\u548c\u7b49\u79bb\u5b50\u6c27\u5316\u65b9\u9762\u5e76\u4e0d\u80fd\u9002\u5408\u5361\u5965\u6a21\u578b\u3002<\/p>\n \u8ba1\u7b97\u7ed3\u679c\u663e\u793a\uff0c\u5f53\u8f74\u5411\u5e94\u529b\u63a5\u8fd1\u96f6\u65f6\uff0c\u5f84\u5411\u5e94\u529b\u548c\u526a\u5207\u5e94\u529b\u5728\u4f4e\u6e29\u4e0b\u4f9d\u9760\u975e\u6c27\u5316\u7684\u7eb3\u7c73\u7ebf\u5c0f\u5e73\u9762\u3002\u4f8b\u5982\uff0c\u5f84\u5411\u5e94\u529b\u5728{110}\u5e73\u9762\u662f\u62c9\u4f38\u7684\uff0c\u4f46\u662f\u5728{001}\u5e73\u9762\u662f\u538b\u7f29\u7684\u3002\u540c\u6837\u7684\uff0c\u5728\u6c27\u5316\u5f00\u59cb\u65f6\uff0c\u6c27\u5316\u7269\u7684\u9644\u7740\u7387\u4e5f\u4f9d\u9760\u5f84\u5411\u5e94\u529b\u548c\u526a\u5207\u5e94\u529b\u3002\u5728\u6c27\u5316\u8fc7\u7a0b\u4e2d\uff0c\u5728c-Si|SiOx<\/sub>|a-SiO2<\/sub>\u754c\u9762\u7684\u5f84\u5411\u5e94\u529b\u6301\u7eed\u5730\u964d\u4f4e\u53cd\u5e94\u901f\u7387\uff0c\u800c\u53e6\u4e00\u65b9\u9762\u538b\u7d27\u529b\u4f7f a-SiO2<\/sub>\u4e2d\u51cf\u5c11\u6c27\u5316\u7269\u7684\u5206\u89e3\u548c\u6eb6\u89e3\uff0c\u5bfc\u81f4\u6c27\u5316\u8fc7\u7a0b\u7684\u81ea\u6211\u9650\u5236\uff0c\u8fd9\u548c\u5fae\u89c2\u7845\u7eb3\u7c73\u7ebf\u6c27\u5316\u8fc7\u7a0b\u76f8\u4f3c\u3002<\/p>\n \u56fe4 \u4e8c\u6c27\u5316\u7845\u7684\u5f84\u5411\u5206\u5e03\u51fd\u6570\u53ca\u5f62\u6210\u673a\u5236<\/strong><\/p>\n \u56fe5 \u5728300K\u548c1200K\u6e29\u5ea6\u65f6\u4e8c\u6c27\u5316\u7845\u7684\u751f\u957f\u548c\u5f62\u6210\u968f\u6c27\u6c14\u80fd\u529b\u5bc6\u5ea6\u53d8\u5316\u56fe\u50cf<\/strong><\/p>\n \u56fe6 \u7845\u7eb3\u7c73\u7ebf\u7684\u5e94\u529b\u5206\u5e03<\/strong><\/p>\n \u3010\u603b\u7ed3\u3011<\/strong><\/p>\n \u672c\u7bc7\u8bba\u6587\u4ece\u8ba1\u7b97\u7684\u89d2\u5ea6\u8ba8\u8bba\u4e86\u4e24\u79cd\u53ef\u4ee5\u63a7\u5236\u8d85\u8584Si\u6c27\u5316\u7269\u539a\u5ea6\u7684\u7845\u7eb3\u7c73\u6c27\u5316\u6280\u672f\u3002\u5728\u5e73\u6ed1\u7845\u8868\u9762\u9ad8\u6e29\u6c27\u5316\u65f6\u4e3a\u4e86\u9632\u6b62\u7531\u80fd\u91cf\u5f15\u53d1\u7684\u635f\u574f\uff0c\u6c27\u6c14\u7684\u5165\u5c04\u80fd\u9009\u62e9\u5728\u4e861-5eV\u4e4b\u95f4\uff0c\u5e76\u4ecb\u7ecd\u4e86\u4e24\u79cd\u9ad8\u6e29\u751f\u957f\u673a\u5236\u6240\u5c55\u73b0\u7684\u4e24\u79cd\u751f\u957f\u65b9\u5f0f\u3002\u5728\u4e24\u79cd\u6c27\u5316\u8fc7\u7a0b\u4e2d\uff0c\u9664\u4e86\u80fd\u91cf\u548c\u6e29\u5ea6\u7684\u5f71\u54cd\uff0c\u6c27\u6c14\u7684\u7c7b\u578b\u548c\u5b83\u4eec\u7684\u80fd\u91cf\u5bc6\u5ea6\u4e5f\u53ef\u4ee5\u5f71\u54cd\u6c27\u5316\u7269\u7684\u539a\u5ea6\u3002\u83b7\u5f97\u7684\u6c27\u5316\u7269\u7ed3\u6784\u867d\u7136\u662f\u65e0\u5b9a\u5f62\u7684\uff0c\u4f46\u662f\u8fd9\u79cd\u7ed3\u6784\u4e5f\u6709\u5b83\u7684\u56fa\u6709\u7f3a\u70b9\u3002\u603b\u4e4b\uff0c\u4e0a\u8ff0\u4e24\u79cd\u7845\u7eb3\u7c73\u6c27\u5316\u65b9\u6cd5\u5f3a\u6709\u529b\u5730\u8868\u660e\u901a\u8fc7\u534f\u8c03\u6c27\u5316\u5242\u7684\u80fd\u91cf\u3001\u6e29\u5ea6\u7684\u589e\u957f\u548c\u8868\u9762\u66f2\u7387\u8d85\u8584\u6c27\u5316\u5c42\u7684\u7f29\u653e\u63a7\u5236\u662f\u53ef\u80fd\u7684\u3002<\/p>\n \u6587\u732e\u94fe\u63a5\uff1a<\/strong>Toward the Understanding of Selective Si Nano-Oxidation by Atomic Scale Simulations<\/a>\uff08Acc. Chem. Res,2017,DOI:10.1021\/acs.accounts.6b00564\uff09<\/p>\n \u672c\u6587\u7531\u6750\u6599\u4eba\u751f\u7269\u6750\u6599\u7ec4\u674e\u4f26\u4f9b\u7a3f\uff0c\u6750\u6599\u725b\u7f16\u8f91\u6574\u7406\u3002<\/p>\n \u53c2\u4e0e\u751f\u7269\u6750\u6599\u8bdd\u9898\u8ba8\u8bba\u6216\u4e86\u89e3\u751f\u7269\u6750\u6599\u5c0f\u7ec4\u62db\u52df\u8be6\u60c5\uff0c\u8bf7\u52a0\u5165\u6750\u6599\u4eba\u751f\u7269\u6750\u6599\u4ea4\u6d41\u7fa4\uff08124806506\uff09\u3002<\/p>\n \u6750\u6599\u725b\u7f51\u4e13\u6ce8\u4e8e\u8ddf\u8e2a\u6750\u6599\u9886\u57df\u79d1\u6280\u53ca\u884c\u4e1a\u8fdb\u5c55\uff0c\u8fd9\u91cc\u6c47\u96c6\u4e86\u5404\u5927\u9ad8\u6821\u7855\u535a\u751f\u3001\u4e00\u7ebf\u79d1\u7814\u4eba\u5458\u4ee5\u53ca\u884c\u4e1a\u4ece\u4e1a\u8005\uff0c\u5982\u679c\u60a8\u5bf9\u4e8e\u8ddf\u8e2a\u6750\u6599\u9886\u57df\u79d1\u6280\u8fdb\u5c55\uff0c\u89e3\u8bfb\u9ad8\u6c34\u5e73\u6587\u7ae0\u6216\u662f\u8bc4\u8ff0\u884c\u4e1a\u6709\u5174\u8da3\uff0c\u70b9\u6211\u52a0\u5165\u7f16\u8f91\u90e8<\/a>\u3002<\/p>\n<\/p>\n
<\/p>\n
<\/p>\n
<\/p>\n
<\/p>\n
<\/p>\n
<\/p>\n